半导体显微镜观测材料、矿物、生物样品、器件透射电子显微象及电子衍射图，对样品微观组织、结构、缺陷等定性、定量分析。可对样品在加热、拉伸、电子辐照等条件下微观组织的变化过程进行动态观测。与普通电子显微镜相比较，它可以进行微观过程的动态实验观察、辐照效应研究、厚试样和粗大析出物的观察分析以及半导体微器件结构研究。
半导体显微镜的性能特点：
1、长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝。
2、表面细节丰富的高质量图片。
3、内置彩色光学显微镜。
4、自动马达样品台。
5、30秒快速成像，操作简单。
6、光学与低倍电子双重导航。
7、防震设计，对放置环境无牛条殊要求。
8、样品仓低真空技术，直接观测绝缘体，需喷金。
9、四分割高灵敏度背散射电子探头，兼得样品表面形貌与成份信息。
半导体显微镜快速切换物镜，提高检查速度电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。
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